AI반도체 확산에 후공정 특화 노광장비 주목…생산 능력 50% 확대
日캐논, 21년만에 새 반도체 장비 공장…"AI붐에 수요 급증"
AI반도체 확산에 후공정 특화 노광장비 주목…생산 능력 50% 확대
(서울=연합뉴스) 강종훈 기자 = 일본 전자업체 캐논이 21년 만에 새 반도체 장비 공장을 설립하고 가동에 들어간다. 인공지능(AI) 시장 팽창으로 반도체 후공정 수요가 급증하자 생산 확대에 나섰다.
31일 니혼게이자이신문 등에 따르면 캐논은 전날 일본 도쿄 북쪽 우츠노미야시에 있는 공장 내 신규 반도체 장비 제조시설 기공식을 열었다.
연면적 6만7천518㎡로 총 500억엔(약 4천671억원)이 투입됐다.
이곳에서는 오는 9월부터 반도체 노광장비를 생산할 예정이다. 노광장비는 설계한 전자 회로를 웨이퍼(원형 반도체 기판)에 빛으로 그리는 반도체 공정에 사용되는 핵심 장치다.
캐논이 반도체 노광장비 신공장을 여는 것은 2004년 이후 21년 만이다. 캐논의 노광장비 생산능력은 기존보다 50% 늘어난다.
캐논과 니콘 등 일본 업체는 2000년대 이전까지 노광장비 시장을 장악했지만 미세화 경쟁에서 ASML에 밀렸다.
캐논은 새 공장에서 반도체 설계 디자인을 웨이퍼에 찍어내듯 각인하는 차세대 '나노 임프린트' 장비도 생산하지만, 당장 주력으로 생산할 제품은 기존 기술을 활용한 노광장비다.
구세대 노광장비는 최근 AI 붐과 함께 다시 주목받고 있다.
AI 반도체는 더 뛰어난 연산 능력을 요구하지만, 회로 미세화는 한계에 이르렀다는 평가가 나온다. 이에 업계는 복수 반도체를 하나로 연결해 성능을 높이는 후공정 방식을 연구해왔다.
ASML은 최첨단 기술이 필요한 전공정 전용 장비에 집중해왔지만, 캐논은 후공정에 특화한 노광장비를 내놓으며 반등 기회를 잡은 것으로 평가된다.
세계 최대 반도체 수탁생산(파운드리) 업체인 대만 TSMC도 후공정 부문에서는 캐논 장비에 의존하는 것으로 전해졌다.
캐논에 이어 니콘도 후공정용 노광장비 시장에 내년에 뛰어들 예정이다.
미타라이 후지오 캐논 회장은 기공식에서 "새 공장에서 생산되는 장비는 캐논의 모든 기술력을 결집한 것"이라며 "전 세계 산업을 지원하는 핵심 역할을 할 것"이라고 말했다.
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강종훈