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국립창원대 조영태 교수팀, KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지 동상

중앙일보

2025.09.19 02:07

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정렬마크 없이 마이크로 패턴을 정렬할 수 있는 푸리에 스펙트럼 기반의 정렬기술 제안 내용
국립창원대학교(총장 박민원)는 기계공학부 스마트제조융합전공 및 스마트제조융합협동과정 조영태 교수와 지도학생들이 ‘제10회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’의 전문가 그룹 부문에 참가하여 동상(상금 200만원)을 수상했다고 19일 밝혔다.

이번 수상에는 조영태 교수의 지도 아래 스마트제조융합협동과정 ▲윤서나(석사과정) ▲김우영(박사) ▲박서림(박사과정) ▲김명서(박사과정) ▲윤선혜(석사과정) ▲윤채혁(학사과정) ▲최창영(석사과정) 학생이 함께 참여해 성과를 거두었다.

KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지는 대한기계학회와 세메스(주)가 협력하여 미래기술사회의 혁신을 이끄는 주최자로의 역할을 제시하고 기업에도 새로운 솔루션을 찾는 기회를 제공할 목적으로 개최되는 아이디어 공모전이다.

이번 대회 동상을 차지한 연구팀은 「정렬마크 없이 마이크로 패턴을 정렬할 수 있는 푸리에 스펙트럼 기반의 정렬 기술」을 주제로 아이디어를 제안하여 KAIST, 서울대 등 국내 주요 대학 연구팀과의 경쟁 속에 우수한 성과를 거두었다.

연구팀은 패턴 자체를 좌표계의 기준 축으로 삼아, 마스크의 회전각 오차를 마크 없이 정량적으로 분석하고 보정하여 포토리소그래피(Photo Lithography) 공정 중 Global Alignment Mark를 생략할 수 있는 회전 정렬 기술을 제안하였다.

국립창원대 조영태 교수는 “이번 수상은 우리 대학이 축적해 온 스마트 제조 분야 연구 역량과 학생들의 도전 정신이 만들어낸 결실”이라며, “앞으로도 학문적 성과를 산업 현장과 연계해 실질적 혁신으로 이어질 수 있도록 연구를 확대해 나가겠다”고 말했다.


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